[发明专利]一种无机溶胶-凝胶制备V2O5薄膜的方法无效
| 申请号： | 201110422458.2 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102515565A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 詹肇麟;彭雁;张晓娟;张卫伟;李莉;刘建雄;刘忠 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种无机溶胶-凝胶制备V2O5薄膜的方法，属于功能薄膜制备及性能技术领域。以V2O5为原料，H2O2为反应溶剂，在冰水浴中将纯V2O5和20-40%的H2O2溶液按照V2O5：H2O2=0.8g～1.2g:40mL～80mL混合，采用电磁-超声波混合搅拌方式制取V2O5溶胶，然后，通过提拉法在载玻片和ITO导电玻璃上沉积V2O5薄膜，通过对薄膜进行热处理，获得层状的V2O5薄膜。本发明提供的方法不需要表面活性剂和催化剂、无需高温高压，具有工艺操作简单、成本低、形成的V2O5薄膜结构致密性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无机 溶胶 凝胶 制备 sub 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种无机溶胶‑凝胶制备V2O5薄膜的方法，其特征在于V2O5薄膜的制备方法包括一下步骤：（1）以分析纯V2O5为原料，浓度为20～40wt%的H2O2为反应溶剂，按照一定比例配置溶液；（2）在温度为‑2~+1ºC条件下，采用电磁搅拌和超声波搅拌结合的搅拌工艺，制备V2O5溶胶前驱物溶液；（3）将经过预处理的基片以10～20cm/min的速度插入V2O5溶胶前驱物溶液中，静置10～25分钟后，以相同的速度提拉出来，通过重复上述提拉过程的4～10次，控制制得V2O5薄膜的厚度为0.1～0.4µm，然后将湿膜在常温下干燥24～48小时；（4）将载玻片和ITO导电玻璃衬底上的薄膜放入电阻炉中进行热处理，升温速率控制在5ºC~30ºC/min，将温度升至200～500℃,保温时间为60～240min，然后随炉冷却，即得到无机溶胶‑凝胶制备V2O5薄膜。
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