[发明专利]光学位移计

摘要

本发明公开一种能够准确检测物体的位移的光学位移计。光投射部分利用偏振方向彼此不同的第一光和第二光选择性地照射工件。从工件反射的光透过光接收透镜入射到光接收元件上。波形生成部分生成显示由光接收元件获取的第一光的光接收量分布和第二光的光接收量分布的第一波形数据和第二波形数据。波形处理部分计算第一波形数据和第二波形数据中相互对应的波峰之间的比值，并且基于计算出的比值从每个第一波形数据和第二波形数据中选择一个波峰，以便检测波峰的位置。

主权项

一种光学位移计，其检测从物体反射的光的峰位，以便通过三角测量系统来检测物体的位移，所述光学位移计包括：光投射部分，其用光照射所述物体；光接收部分，其以相互能辨别的方式接收第一光和第二光，所述第一光包括第一线偏振分量，所述第二光包括第二线偏振分量，所述第二线偏振分量不同于所述第一线偏振分量；光接收量分布获取部分，其将由所述光接收部分获得的所述第一光的光接收量分布获取作为第一光接收量分布，并且将由所述光接收部分获得的所述第二光的光接收量分布获取作为第二光接收量分布；峰位检测部分，其基于由所述光接收量分布获取部分获取的所述第一光接收量分布和所述第二光接收量分布来计算用于区分假波峰的位置和真波峰的位置的区分信息，以便基于计算出的所述区分信息指定真峰位，所述假波峰是因在所述物体的表面上反射多次的光而形成的，所述真波峰是因在所述物体的表面上反射一次的光而形成的；以及测量处理部分，其计算所述物体的与由所述峰位检测部分指定的所述真峰位对应的位移。