[发明专利]一种高固有频率微机械加速度传感器无效
| 申请号： | 201110424524.X | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN103163326A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 徐明龙;刘江辽 | 申请（专利权）人： | 西安威正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种高固有频率微机械加速度传感器，包括敏感梁，敏感梁位于主梁正上方，主梁通过过渡区与敏感梁实现连接，敏感梁对称配置在质量块的两端，敏感电阻安置在敏感梁与锚区的相接处，下盖板与质量块连接，本发明具有高固有频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固有频率 微机 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种高固有频率微机械加速度传感器，包括敏感梁(2)，其特征在于：敏感梁(2)位于主梁(4)正上方，主梁(4)通过过渡区(6)与敏感梁(2)实现连接，敏感梁(2)对称配置在质量块(5)的两端，敏感电阻(1)安置在敏感梁(2)与锚区(3)的相接处，下盖板(7)与质量块(5)连接。
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