[发明专利]生产细硅棒的方法与装置有效
| 申请号： | 201110424941.4 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102555087A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 布鲁诺·利希滕埃格尔;马塔乌斯·尚茨 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;刘书芝 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及生产细硅棒的方法与装置。该方法包括以下步骤：a)提供硅棒；b)接着，采用锯装置从棒切割具有特定厚度的板，其中，在两个连续切割之间分别绕轴线旋转棒90°或180°，使得在四个连续切割中，四个切割中的两个分别成对地在棒的径向相对侧进行，或其中板的切割同时一起在棒的径向相对侧进行；c)将切割的板锯切成具有矩形横截面的细棒。从硅棒通过锯来生产细棒的装置包含：第一单元，包括多重切割工具和用于冷却切割工具的冷却液；第二单元，包括用于引导附加的冷却液进入要加工的工件的切缝的喷嘴，以及第三单元，包括带锯或线锯或包含一个或多个转轴的切割工具。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 细硅棒 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种生产细硅棒的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供硅棒；b)接着，采用锯装置从所述棒切割具有特定厚度的板，其中，在两个连续切割之间分别绕轴线旋转所述棒90°或180°，使得在四个连续切割中，所述四个切割中的两个分别成对地在所述棒的径向相对侧进行，或其中所述板的切割同时一起在所述棒的径向相对侧进行；c)将切割的所述板锯切成具有矩形横截面的细棒。
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