[发明专利]一种化学气体传感器芯片无效
| 申请号： | 201110426319.7 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN103163189A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 黄亚兵 | 申请（专利权）人： | 西安民生电热技术工程有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种化学气体传感器芯片，包括玻璃基底，在玻璃基底上采用微电子工艺加工有加热电极和敏感电极，在加热电极和敏感电极上烧结有敏感材料，本发明采用了微电子工艺，能够实现批量生产，整个元件的结构简单，体积小，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 气体 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
一种化学气体传感器芯片，包括玻璃基底(1)，其特征在于：在玻璃基底(1)上采用微电子工艺加工有加热电极(2)和敏感电极(3)，在加热电极(2)和敏感电极(3)上烧结有敏感材料(4)。
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