[发明专利]一种高价离子源的调制装置无效
| 申请号： | 201110427252.9 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103165391A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;赵无垛;曲丕丞;王卫国;花磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/14 | 分类号： | H01J49/14;H01J49/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高价离子源的调制装置，包括高价离子源、聚焦透镜、调速电极组、高价离子引出电极组、样品靶。高价离子通过激光与团簇相互作用产生，利用聚焦透镜将高价离子会聚于样品靶上，同时利用调速电极对高价离子的能量进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高价 离子源 调制 装置 | ||
【主权项】：
一种高价离子源的调制装置，其特征在于：包括依次排列的高价离子引出电极组(2)、聚焦透镜(3)、调速电极组(4)和样品靶(5)；高价离子引出电极组(2)为二板平行、相互间隔设置的金属板状电极，一为推斥电极(6)、另一为加速电极(7)，于一加速电极(7)中部设有贯穿电极板体的孔，离子聚焦透镜(3)由2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极构成；调速电极组(4)为2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极，或为2‑5块平行、相互间隔设置的金属板状电极，电极中部设有贯穿电极板体的孔；一为屏蔽电极(8)、其余为调速电极(9)构成；加速电极(7)的孔、离子聚焦透镜(3)、调速电极组(4)的孔同轴设置，加速电极(7)和屏蔽电极(8)靠近离子聚焦透镜(3)设置；于远离离子聚焦透镜(3)的调速电极(9)外侧设置有样品靶(5)，样品靶(5)设置于调速电极(9)的孔的轴线上。
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