[发明专利]宽带偏振光谱仪及光学测量系统

摘要

本发明提供的一种宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一平面反射镜、第一曲面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪，提高了探测光束的光通效率，并且在探测器前端实现了分光后的作为参考光束的非探测光束和所述探测光束的完整结合。此外，还能使探测光束无色差地聚焦在样品表面，并可同时保持探测光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。本发明还提供一种包含上述光谱仪的光学测量系统。

主权项

一种宽带偏振光谱仪，其特征在于，包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一平面反射镜、第一曲面反射镜、第二反射单元、探测单元，其中：所述第一反射单元用于使所述光源发出的光束分为探测光束和参考光束两部分，并将这两部分光束分别入射至所述第一聚光单元和所述第二聚光单元；所述第一聚光单元用于接收所述探测光束，使该光束变成平行光束后入射至所述偏振器；所述偏振器设置于所述第一聚光单元和所述第一平面反射镜之间，用于使所述平行光束通过并入射至所述第一平面反射镜；所述第一平面反射镜用于接收所述平行光束并将该平行光束反射至所述第一曲面反射镜；所述第一曲面反射镜用于并将所述平行光束变成会聚光束，并将该会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；所述第二反射单元用于同时或分别接收从样品反射的依次经过所述第一曲面反射镜、所述第一平面反射镜、所述偏振器、所述第一聚光单元的探测光束和通过所述第二聚光单元的参考光束，并将所接收到的光束入射至所述探测单元；所述第二聚光单元用于接收所述参考光束，并将其入射至所述第二反射单元；所述探测单元用于探测被所述第二反射单元所反射的光束。