[发明专利]偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪

摘要

一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪，由雅敏平行平板、剪切平板、双面直角反射镜、偏振移相器、毛玻璃、成像镜组、图像传感器和计算机组成，本发明不仅保持了等光程干涉、剪切量可调的特点，还具有完全共光路、结构简单紧凑的优点。能有效地抑制外界环境的影响，提高了仪器的测量精度和稳定性。

主权项

一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪，其特征在于由雅敏平行平板(1)、剪切平板(2)、双面直角反射镜(3)、偏振移相器(4)、毛玻璃(5)、成像镜组(6)、图像传感器(7)和计算机(8)组成，所述的雅敏平行平板(1)的入射工作面A的上半部分镀有偏振分束薄膜，所述的剪切平板(2)为光学平行平板，放置在所述的雅敏平行平板(1)和直角棱镜(3)之间的上半部分光路中，所述的剪切平板(2)具有绕平行于入射面且垂直于光束传输方向的转轴旋转的调节机构；所述的雅敏平行平板(1)、剪切平板(2)和双面直角反射镜(3)构成循环式剪切干涉光路，在所述的雅敏平行平板(1)的光束输出端依次是所述的偏振移相器(4)、毛玻璃(5)、变倍成像镜组(6)和图像传感器(7)，该图像传感器(7)的输出端接计算机(8)，所述的计算机(8)具有移相剪切干涉图像处理软件的计算机，可以对移相剪切干涉图像进行采集、处理和分析，进而复原出波面信息。