[发明专利]用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物无效
| 申请号： | 201110428014.X | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102585833A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李友兰;李石;李铉奎;郑敬燮 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;周义刚 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物，基于该组合物的总重量，该刻蚀溶液组合物包括5～30wt％的H2O2、0.01～5wt％的含氟化合物、0.1～5wt％的可溶于水的环胺化合物、0.01～10wt％的无机酸、和余量的水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 包含 mo ti 合金 氧化 刻蚀 溶液 组合 | ||
【主权项】：
一种用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物，其特征在于，包括：基于该组合物的总重量，5～30wt％的H2O2；0.01～5wt％的含氟化合物；0.1～5wt％的可溶于水的环胺化合物；0.01～10wt％的无机酸；和余量的水。
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