[发明专利]采用原子层沉积的超薄、连续、共形金属膜的成核以及作为燃料电池催化剂的用途有效
| 申请号： | 201110430219.1 | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN102560410A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | A·孔卡南德;F·T·沃纳;S·M·乔治;L·贝克 | 申请（专利权）人： | 通用汽车环球科技运作有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/06 | 分类号： | C23C16/06;C23C16/40;C23C16/44;H01M4/88;H01M4/92 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 曹小刚;杨思捷 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及采用原子层沉积的超薄、连续、共形金属膜的成核以及作为燃料电池催化剂的用途，尤其涉及在衬底上获得共形超薄的铂的或其合金之一的膜的方法，其可经济地用作异质催化剂，例如汽车聚合物电解质膜(PEM)燃料电池催化剂。该方法包括在铂原子层沉积中使用氢等离子体以及使用钨作为衬底或锚定性粘附层以有助于铂的成核与沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 原子 沉积 超薄 连续 金属膜 成核 以及 作为 燃料电池 催化剂 用途 | ||
【主权项】：
在衬底上成核金属膜的方法，包括：提供具有大于约2.5J/m2的表面能的金属层；以及使用H2等离子体辅助ALD在所述金属层上沉积连续、共形的Pt或Pt合金层，所述Pt或Pt合金层具有小于约4纳米的厚度。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
