[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置

摘要

本发明提供有机EL元件的制造方法和制造装置。有机EL元件的制造方法具有蒸镀工序，在蒸镀工序中，供给基材，使该基材的非电极层侧与筒辊的表面抵接而使该基材移动，并且自蒸镀源的喷嘴喷出汽化后的有机层形成材料，在上述基材的电极层侧形成有机层，在上述蒸镀工序中，以使具有开口部的荫罩介于上述喷嘴和抵接于上述筒辊的上述基材之间的方式，供给该荫罩，使设在上述基材和上述荫罩上的通孔与设在上述筒辊上的卡合突起部卡合，从而使上述基材和荫罩移动，并且在上述基材的电极层侧形成与上述开口部相对应的有机层。

主权项

一种有机EL元件的制造方法，该方法具有蒸镀工序，在该蒸镀工序中，供给形成有电极层的带状的基材，使该基材的非电极层侧与被驱动而旋转的筒辊的表面抵接而使该基材移动，并且自以与上述筒辊相面对的方式配置的蒸镀源的喷嘴喷出汽化后的有机层形成材料，在上述基材的电极层侧形成有机层，该有机EL元件的制造方法的特征在于，在上述蒸镀工序中还包括如下操作：以使具有开口部的荫罩介于上述喷嘴和抵接于上述筒辊的上述基材之间的方式供给该荫罩，；作为上述基材和荫罩，使用设有沿长度方向排列的多个通孔的部件，并且作为上述筒辊，使用设有用于与上述通孔卡合的卡合突起部的部件，使上述基材的通孔和上述荫罩的通孔与上述卡合突起部卡合，从而使上述基材和荫罩移动，并且在上述基材的电极层侧形成与上述开口部相对应的有机层。