[发明专利]高压LDMOS结构无效
申请号: | 201110432154.4 | 申请日: | 2011-12-21 |
公开(公告)号: | CN102522428A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 罗杰;李文昌;黄云川;马力;高继;艾磊;向可强 | 申请(专利权)人: | 成都成电硅海科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 成都惠迪专利事务所 51215 | 代理人: | 刘勋 |
地址: | 610041 四川省成都市高新区*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 高压LDMOS结构,涉及集成电路技术。本发明包括N漂移区和P型衬底,其特征在于,在N漂移区下方的P型衬底区域,设置有复合埋层区,所述复合埋层区包括P型埋层区和N型埋层区。本发明不采用P型降场层,可以让出N型漂移区的表面高掺杂电子通道,有利于降低比导通电阻。 | ||
搜索关键词: | 高压 ldmos 结构 | ||
【主权项】:
高压LDMOS结构,包括N漂移区和P型衬底,其特征在于,在N漂移区下方的P型衬底区域,设置有复合埋层区,所述复合埋层区包括P型埋层区和N型埋层区。
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