[发明专利]铜锌锡硫陶瓷靶材及其真空热压制备方法无效
| 申请号： | 201110432162.9 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103172378A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 储茂友;王星明;陈洋;韩沧;张碧田;段华英;白雪 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C04B35/547 | 分类号： | C04B35/547;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种铜锌锡硫陶瓷靶材及其真空热压制备方法，包括将硫化铜、硫化锌、硫化锡粉按照摩尔比2∶1∶1配料，预压制坯；热压炉抽真空至10-1～10-2Pa，以5～20℃/min的升温速度升温到800～1400℃，升温过程中不断轴向加压，加压到10～30Mpa，升到指定温度和压力后，保温保压2～15小时后，降温，降到500～1200℃，泄压至常压；冷却至室温，得到靶材坯料；进行机械加工和电加工，然后清洗、烘干，得到高纯高单相含量铜锌锡硫陶瓷靶材。本发明所得靶材致密度达到96％以上，铜锌锡硫化合物相含量达到90wt％以上，靶材的杂质含量低，靶材质量满足磁控溅射制备铜锌锡硫薄膜的要求，生产成本低，适合大尺寸铜锌锡硫陶瓷靶材工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 铜锌锡硫 陶瓷 及其 真空 热压 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铜锌锡硫陶瓷靶材，其特征在于：由四元化合物Cu2ZnSnS4组成，所述的陶瓷靶材中Cu2ZnSnS4单相含量高于90wt.％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京有色金属研究总院，未经北京有色金属研究总院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110432162.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
