[发明专利]一种磁控管以及应用该磁控管的磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201110433434.7 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103177917A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 杨玉杰;耿波 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J25/50 | 分类号： | H01J25/50;H01J23/02;H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100176 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种磁控管以及应用该磁控管的磁控溅射设备，包括极性相反的外磁极和内磁极，在垂直于所述外磁极的中心线的截面上，所述外磁极为闭合的环形，所述内磁极设置在所述环形的外磁极所围绕而成的腔体内，其中，所述内磁极包括三个以上子内磁极，所述三个以上子内磁极围绕所述外磁极的中心线设置，从而在所述外磁极和内磁极之间形成与所述子内磁极数量对应地通道。该磁控管可以提高靶材腐蚀的均匀性，从而提高靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控管 以及 应用 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种磁控管，包括极性相反的外磁极和内磁极，在垂直于所述外磁极的中心线的截面上，所述外磁极为闭合的环形，所述内磁极设置在所述环形的外磁极所围绕而成的腔体内，其特征在于，所述内磁极包括三个以上子内磁极，所述三个以上子内磁极围绕所述外磁极的中心线设置，从而在所述外磁极和内磁极之间形成与所述子内磁极数量对应地通道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110433434.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
