[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备

摘要

本发明涉及一种波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备。该波长可变干涉滤波器具备静电执行机构，该静电执行机构具备固定电极及可动电极。并且，固定电极具备多个固定部分电极，可动电极具备多个可动部分电极，由彼此相对的固定部分电极及可动部分电极构成部分执行机构。此外，这些部分执行机构具有相同的面积，重心点在以可动部的中心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，这些部分执行机构在电压施加用部分电极间电串联连接。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退；第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，基于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极，所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置，在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极对应的所述第二部分电极相重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极，这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接有多个所述部分执行机构。