[发明专利]一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用有效
| 申请号： | 201110433696.3 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102585705A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张泽芳;刘卫丽;宋志棠 | 申请（专利权）人： | 上海新安纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 许亦琳;余明伟 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高抛光速率的用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液，包含有磨料、pH值调节剂、表面活性剂、消泡剂和去离子水；以所述抛光液总重量为基准计，所述磨料的含量为1~50wt%，所述表面活性剂的含量为0.005-1wt%，所述消泡剂的含量为20~200ppm。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石衬底进行抛光，可以使得蓝宝石衬底粗糙度小于0.2nm，抛光速率大于5μm/h，并可有效消除凹坑、突起、划痕等表面缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 衬底 化学 机械抛光 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液，包括磨料、碱性pH值调节剂、表面活性剂、消泡剂和去离子水；以所述抛光液总重量为基准计，所述磨料的含量为1～50wt％，所述表面活性剂的含量为0.005‑1wt％，所述消泡剂的含量为20～200ppm。
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