[发明专利]反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置及调节方法有效
| 申请号： | 201110434045.6 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102510003A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 安红海;王琛;方智恒;熊俊;孙今人;王世绩 | 申请（专利权）人： | 上海激光等离子体研究所 |
| 主分类号： | H01S4/00 | 分类号： | H01S4/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置及调节方法，特点是在第四出光靶与多层膜反射镜之间增加一个辅助靶，辅助靶倾斜粘接在相应的辅助靶托上，使所述辅助靶的上端高过多层膜反射镜支架上边缘所在的平面。靶室在线调节过程中，通过平行光管观察辅助靶位置可以间接知道各出光靶之间的排布情况，通过对辅助靶的操作来达到可以调节出光靶的目的。本发明有效地解决了靶场在线调节过程中多层膜反射镜遮挡其后面第六平行光管的视线问题，并且可以通过第六平行光管对出光靶装置的姿态进行有效地实时监测。实验表明，本发明出光靶装置还具有调节方便、稳定性好、调节精度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 双程 放大 射线 激光 出光靶 装置 调节 方法 | ||
【主权项】：
一种反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置，包括一个长方形的靶架固定底板(118)，在该靶架固定底板(118)上的一端横向地固设有多层膜反射镜架(112)，该多层膜反射镜架设置多层膜反射镜(106)，在所述的靶架固定底板(118)上自另一端至所述的多层膜反射镜架(112)，依次的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)纵向成列、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)纵向成列并通过各自的靶架和靶座纵向地列放在所述的靶架固定底板(118)上的两条平行的直线上，所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的靶面与所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的靶面相向并处于同一高度，所述的靶架固定底板(118)通过燕尾形连杆(119)固定在调节平台(120)上，其特征是：在所述的第四出光靶(104)和所述的多层膜反射镜架(112)之间还设有辅助靶(105)，该辅助靶(105)通过辅助靶架(111)和辅助靶座(117)设置在所述的靶架固定底板(118)上，所述的辅助靶(105)的主轴与所述的第一出光靶(101)、第二出光靶(102)、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的主轴所在的平面夹角(304)为45°～90°，所述辅助靶(105)的上端高于所述的多层膜反射镜支架(112)的上边缘。
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