[发明专利]一种TFT液晶显示器返修制程中的光刻胶剥离方法无效
| 申请号： | 201110435583.7 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102436154A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陈建荣;刘兴华;于春崎;任思雨;胡君文;谢凡;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 516600 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TFT液晶显示器返修制程中的光刻胶剥离方法，所述方法包括：按照预设干法去胶参数，进行干法去胶，剥离光刻胶表层部分；进行湿法去胶，将剩余光刻胶剥离。通过本发明实施例，能够有效将光刻胶剥离干净，避免了残留的光刻胶对后续工艺造成的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tft 液晶显示器 返修 中的 光刻 剥离 方法 | ||
【主权项】：
一种TFT液晶显示器返修制程中的光刻胶剥离方法，其特征在于，包括：按照预设干法去胶参数，进行干法去胶，剥离光刻胶表层部分；进行湿法去胶，将剩余的光刻胶剥离。
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