[发明专利]多片远程等离子体增强原子层沉积腔室

摘要

多片远程等离子体增强原子层沉积腔室，包括真空腔室，所述真空腔室内安装有能放置多片样品的样品台架，所述真空腔室内在样品台架的外围设有加热圈，所述加热圈靠近腔壁的一侧连接有热反射板；所述真空腔室内在样品台架和加热圈之间设有进气管，所述进气管在与样品台架的相同空间高度内设有出气段；所述真空腔室内在热反射板的外围设置有匀气环，所述真空腔室在匀气环与其侧壁之间的底部上开有抽气口，所述抽气口与进气管位设在样品台架的两侧；所述真空腔室上连接有远程脉冲等离子发生系统，所述远程脉冲等离子发生系统包括连接在真空腔室底部的石英管，所述石英管外绕设有感应线圈，所述感应线圈上依次连接脉冲射频电源、阻抗匹配系统。

主权项

多片远程等离子体增强原子层沉积腔室，包括真空腔室，所述真空腔室由主腔壁和上腔盖组成，其特征在于：所述真空腔室内安装有能放置多片样品的样品台架，所述真空腔室内在样品台架的外围设有加热圈，所述加热圈靠近腔壁的一侧连接有热反射板；所述真空腔室内在样品台架和加热圈之间设有进气管，所述进气管在与样品台架的相同空间高度内设有出气段；所述真空腔室内在热反射板的外围设置有匀气环，所述真空腔室在匀气环与其侧壁之间的底部上开有抽气口，所述抽气口与进气管位设在样品台架的两侧；所述真空腔室上连接有远程脉冲等离子发生系统，所述远程脉冲等离子发生系统包括连接在真空腔室底部的石英管，所述石英管的另一端连接有带进气口的下法兰，所述石英管外绕设有感应线圈，所述感应线圈上依次连接脉冲射频电源、阻抗匹配系统。