[发明专利]一种深紫外光刻照明系统

摘要

本发明提供一种深紫外光刻照明系统，包括深紫外激光光源、柱面扩束镜子系统、球面扩束镜子系统、复眼匀光子系统、聚光镜子系统、圆形光阑以及孔径光阑；上述各部件沿激光光路前进方向的顺序关系为：深紫外激光光源、柱面扩束镜子系统、圆形光阑、球面扩束镜子系统、复眼匀光子系统、孔径光阑、聚光镜子系统，其中孔径光阑位于聚光镜子系统的前焦面上，且上述各部件的中心与激光光束的中心重合。本发明采用球面和柱面结构，结果简单，且可满足光刻照明系统的需要。

主权项

一种深紫外光刻照明系统，其特征在于，包括深紫外激光光源、柱面扩束镜子系统、球面扩束镜子系统、复眼匀光子系统、聚光镜子系统、圆形光阑以及孔径光阑；上述各部件沿激光光路前进方向的顺序关系为：深紫外激光光源、柱面扩束镜子系统、圆形光阑、球面扩束镜子系统、复眼匀光子系统、孔径光阑、聚光镜子系统，其中孔径光阑位于聚光镜子系统的前焦面上，且上述各部件的中心与激光光束的中心重合；深紫外激光光源用于产生矩形的深紫外激光；柱面扩束镜子系统用于将入射的矩形深紫外激光扩束成正方形；圆形光阑用于将入射的正方形光束截成圆形光束；球面扩束镜子系统用于对入射的圆形光束进行扩束，使其出射光束的直径为入射光束直径的n倍，其中n为大于1的正数；复眼匀光子系统用于对入射的圆形光束进行分割，使得在其后焦面上形成多个二次光源；孔径光阑用于对多个二次光源入射的光束进行分割，使得分割后的光源形状与孔径光阑上的图形相互匹配；聚光镜子系统用于将入射的光束会聚成平行光束并出射。