[发明专利]文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法在审
申请号: | 201110437062.5 | 申请日: | 2011-12-20 |
公开(公告)号: | CN103170206A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 邓肇冬 | 申请(专利权)人: | 西安航天远征流体控制股份有限公司 |
主分类号: | B01D50/00 | 分类号: | B01D50/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 王少文 |
地址: | 710100 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法,包括将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化、使雾滴覆盖反应气流通面、反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相、将气液混合相分离、气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器等步骤。本发明解决了现有冷氢化工艺除尘方法不成熟的技术问题,满足了冷氢化工艺去除反应气中夹带细微硅粉的要求,同时降低了反应气的温度、立式安装,具有结构简单、紧凑、占地面积小、维护少、运行稳定的优点。 | ||
搜索关键词: | 文丘里 洗涤器 除去 氢化 工艺 反应 中的 方法 | ||
【主权项】:
一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法,其特征在于:包括以下步骤:1】将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化;2】使雾滴覆盖反应气流通面;3】反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相;4】将气液混合相分离;5】气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器。
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