[发明专利]热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器无效
申请号: | 201110437941.8 | 申请日: | 2011-12-22 |
公开(公告)号: | CN102607716A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 土屋泰 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01J5/34 | 分类号: | G01J5/34 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器。该热式光检测器包括:基板;支撑部件,以在所述支撑部件与基板之间形成有空腔部的方式被支撑;热检测元件,被支撑部件支撑;热传递部件,设置在热检测元件上并具备集热部和连接部,集热部由对入射的光具有光反射特性的材料构成且俯视时具有能够使向支撑部件的区域入射的光的一部分进入支撑部件侧的图案,连接部连接集热部和热检测元件;第一光吸收层,在热传递部件与热传递部件接触地形成和支撑部件之间;以及第二光吸收层,在热传递部件上与热传递部件接触地形成。 | ||
搜索关键词: | 热式光 检测器 及其 制造 方法 检测 装置 电子仪器 | ||
【主权项】:
一种热式光检测器,其特征在于,包括:基板;支撑部件,以在所述支撑部件与所述基板之间形成有空腔部的方式被支撑;热检测元件,被所述支撑部件支撑;热传递部件,设置在所述热检测元件上并具备集热部和连接部,所述集热部由对入射的光具有光反射特性的材料构成且俯视时具有能够使向所述支撑部件的区域入射的光的一部分进入所述支撑部件侧的图案,所述连接部连接所述集热部和所述热检测元件;第一光吸收层,在所述热传递部件和所述支撑部件之间与所述热传递部件接触地形成;以及第二光吸收层,在所述热传递部件上与所述热传递部件接触地形成。
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