[发明专利]平面光波导结构及其制作方法

摘要

本发明公开了一种平面光波导结构，包括锥形段波导和恒径段波导，所述锥形段波导与波导器件相连，其波导芯横截面为锥形，宽度沿光纤到波导器方向逐渐减小，由N个波导芯组成，且沿着光纤到光波导方向，波导芯长度逐渐增加，各波导芯间的间隙长度逐渐减小，波导芯四周充满包层材料；所述恒径段波导与光纤相连，由M个具有相同长度的波导芯组成，各个波导芯间的间隙长度相同，波导芯四周均充满包层材料。同时提供一种平面光波导结构的制作方法。通过改变波导芯在宽度和长度方向的截面形状和大小，借此来改变波导中光束的模场分布，有效地降低了波导与光纤间的耦合损耗，提高了产品性能，此外，该波导结构生产制造相对简单，易于大规模生产。

主权项

一种平面光波导结构，其特征在于，包括锥形段波导（1）和恒径段波导（2），所述锥形段波导（1）与波导器件相连，其波导芯横截面为锥形，宽度沿光纤到光波导方向逐渐减小，由N个波导芯（3）组成，且沿着光纤到光波导方向，波导芯(3)长度逐渐增加，各波导芯（3）间的间隙长度逐渐减小，该波导芯（3）四周充满包层材料；所述恒径段波导（2）与光纤相连，由M个具有相同长度的波导芯（3）组成，各个波导芯(3)间的间隙长度相同，该波导芯(3)四周均充满包层材料。