[发明专利]用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统有效
申请号: | 201110439382.4 | 申请日: | 2011-12-23 |
公开(公告)号: | CN102519975A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 刘国栋;刘炳国;陈凤东;胡涛;庄志涛;冯博;宫娜 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G02B15/00;G02B27/00 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 张果瑞 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统,属于光学领域,本发明为解决目前国内对于光学元件损伤采用的检测方式大多为离线检测,难以满足检测要求的问题。本发明所述用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统,它包括前镜组、后镜组和CCD,前镜组的光轴、后镜组的光轴和CCD的光接收面的中心法线重合,前镜组由3块透镜组成,后镜组由3块胶合透镜组成,后镜组能够沿其光轴前后移动,CCD能够沿光轴前后移动,前镜组将入射光透射后出射至后镜组,后镜组的透射光入射至CCD的光接收面。 | ||
搜索关键词: | 用于 在线 检测 光学 元件 损伤 焦距 光学系统 | ||
【主权项】:
用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统,其特征在于,它包括前镜组(1)、后镜组(2)和CCD(3),前镜组(1)的光轴、后镜组(2)的光轴和CCD(3)的光接收面的中心法线重合,前镜组(1)由3块透镜组成,后镜组(2)由3块胶合透镜组成,后镜组(2)能够沿其光轴前后移动,CCD(3)能够沿光轴前后移动,前镜组(1)将入射光透射后出射至后镜组(2),后镜组(2)的透射光入射至CCD(3)的光接收面。
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