[发明专利]一种三维光子晶体的的制备方法

摘要

本发明涉及一种光子晶体的制备方法，特指利用多层膜结构和激光技术，制备光子晶体，属于薄膜制备、微纳结构制备技术领域；采用溅射的方法或原子层沉积方法制备氮化铜/氮化物相间的多层膜，在多层膜上采用飞秒激光扫描，制备三维光子晶体。利用氮化铜低温分解效应，再结合多层膜结构和飞秒激光技术，就可形成三维周期结构，调控多层膜各层的厚度，可以方便调控三维光子晶体的光学性质；实验步骤简单，重复性好。

主权项

一种三维光子晶体的的制备方法，其特征在于：包括利用溅射或原子层沉积技术制备氮化铜和氮化钛相间的多层膜的步骤和利用飞秒激光扫描形成三维光子晶体的步骤，所述的利用飞秒激光扫描形成三维光子晶体的步骤具体为：首先将飞秒激光聚焦在多层膜与衬底结合处以下20~100nm，光斑位于多层膜的左下角；多层膜固定在由计算机控制的三维精密移动平台的XY平面上，计算机控制样品台沿着X轴方向向右移动，移动速率0.1~10mm/s，进行X方向扫描；X方向移动一行以后，计算机控制样品台沿Y方向向前移动0.1~1.5µm，重复X方向扫描；重复步骤2和3直至扫描结束；激光器输出中心波长808 nm，脉冲宽度30~100飞秒，重复频率10Hz~10kHz；输出激光由衰减片调节单脉冲能量0.01~1毫焦，光束聚焦后光斑直径0.1~2微米。