[发明专利]磨削装置有效
| 申请号： | 201110441426.7 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN102615585A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 吉田真司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的课题是高精度地进行磨削，以使嵌入在其它部件中的预定部件露出。作为解决手段，磨削装置具有：形成有保持工件的保持面的保持构件；对该保持构件所保持的工件进行磨削加工的加工构件；控制该加工构件的动作的控制构件，所述工件由反射率为第一反射率的第一部件和覆盖该第一部件的反射率为第二反射率的第二部件构成，该控制构件具有检测部，其对磨削中的所述工件的被磨削面照射检测光，接收来自被磨削面的反射光，并且当根据该检测部检测出的受光量判断为被该第二部件覆盖的该第一部件露出时，停止所述工件的磨削。 | ||
| 搜索关键词： | 磨削 装置 | ||
【主权项】：
一种磨削装置，其具有：形成有保持工件的保持面的保持构件；对该保持构件所保持的工件进行磨削加工的加工构件；以及控制该加工构件的动作的控制构件，其特征在于，所述工件由反射率为第一反射率的第一部件和覆盖该第一部件的反射率为第二反射率的第二部件构成，该控制构件具有检测部，该检测部对磨削中的所述工件的被磨削面照射检测光，并接收来自被磨削面的反射光，当根据该检测部检测出的受光量判断为被该第二部件覆盖的该第一部件露出时，停止所述工件的磨削。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110441426.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
