[发明专利]开尔文测试载片台

摘要

本发明涉一种开尔文测试载片台，其特征在于：在圆盘状绝缘载片本体上还镶嵌了测试接触电极和测试引线接口；测试接触电极是由若干环状导电材料构成，各环状导电材料之间相互绝缘，所述环状导电材料上部的环形平面中心加工有一条环形真空槽，在每一条环形真空槽上加工有一个真空通孔；真空通孔通过可延伸至圆盘状绝缘载片本体体外的内部通孔与真空接口连接；在不改变现有芯片测试方法的基础上，通过对测试载片台的结构进行改造，使开尔文电路的检测线及激励线与被测器件芯片之间的接触表面尽量做到无隙接触，有效降低芯片测试时由于测试载片台引起的电阻误差，从而降低不良品率和生产成本。

主权项

一种开尔文测试载片台，包括圆盘状绝缘载片本体，其特征在于：在圆盘状绝缘载片本体（11）上还镶嵌了测试接触电极和测试引线接口；所述圆盘状绝缘载片本体（11）为圆盘状，圆盘状绝缘载片本体（11）上的测试接触电极是由若干环状导电材料（12）构成，各环状导电材料（12）之间相互绝缘，分别镶嵌在圆盘状绝缘载片本体（11）上；在每一个所述环状导电材料（12）上部的环形平面中心加工有一条环形真空槽（13），在每一条环形真空槽（13）上加工有一个真空通孔（16）；真空通孔（16）的下部连通一条处于圆盘状绝缘载片本体（11）内的内部通孔（15）；内部通孔（15）使每个所述环状导电材料（12）上的真空通孔（16）相互贯通；内部通孔（15）的一端延伸至圆盘状绝缘载片本体（11）体外与真空接口（17）连接；所述圆形绝缘载片本体（11）的下部加工有与各环状导电材料（12）位置对应的槽位，在槽位对应的环状导电材料（12）上加工螺孔， 螺孔中安装螺丝（19），螺丝（19）的一端通到槽位下方，与大电流引线（21）固定；所述圆形绝缘载片本体（11）的下部固定有4个测试引线接口（18）和过线通孔（20），4个测试引线接口（18）穿过穿线通孔（20）分别与对应的大电流引线（21）连接；每块环状导电材料（12）对应连接一条引线（21），若干个引线（21）分成两组，分别作为开尔文测试电路的LI引线和LV引线，每组内的引线（21）连接到对应的测试引线接口（18）。