[发明专利]霍尔及气敏测量装置有效
| 申请号： | 201110442319.6 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103176146A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 康升红;吴兵;李广海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G01N27/00 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 任岗生;王挺 |
| 地址： | 230031*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种霍尔及气敏测量装置。它包括与导轨(10)动配合连接的基座(12)上置有的样品座和位于导轨(10)轨迹两侧的一对永磁体，样品座为与真空室(2)连通的样品室(3)，其中置有与测量部件(13)连接的接线器(4)和与测控部件(15)连接的电加热器(11)，真空室(2)分别与真空部件(14)和配气部件(1)相连通；一对永磁体为与电磁部件(9)连接的一对线圈(6)；真空部件(14)和配气部件(1)的控制端、电磁部件(9)的输入端与测控部件(15)的输出端连接，测控部件(15)的输入端与测量部件(13)的输出端连接。它能同时测试样品(5)的霍尔参数和气敏特性，以为研发纳米结构气敏传感器提供理论基础和指导意见。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种霍尔及气敏测量装置，包括与导轨(10)连接的基座(12)上置有的样品座、与样品座电连接的测量部件(13)和位于导轨(10)轨迹两侧的一对永磁体，其特征在于：所述基座(12)与导轨(10)之间为动配合连接；所述样品座为与真空室(2)相连通的样品室(3)，所述样品室(3)中置有与所述测量部件(13)电连接的接线器(4)和与测控部件(15)的输出端电连接的电加热器(11)，所述真空室(2)分别与真空部件(14)和配气部件(1)相连通；所述一对永磁体为与电磁部件(9)的输出端电连接的一对线圈(6)；所述真空部件(14)和配气部件(1)的控制端、电磁部件(9)的输入端与测控部件(15)的输出端电连接，所述测控部件(15)的输入端与测量部件(13)的输出端电连接，用于测试样品(5)的霍尔参数和气敏特性。
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