[发明专利]一种电光固浸探头无效
| 申请号： | 201110442564.7 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN102435789A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陈占国;贾刚;刘秀环;高延军;朱景程 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R3/00;G01R29/12 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 张景林;刘喜生 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于电光检测技术领域，具体涉及一种电光固浸探头，该探头可用于电子器件的外部电学特性和内部节点电信号的在片测量，且具有很高的空间分辨率和电压灵敏度。电光固浸探头由外圆筒、内圆筒、显微物镜和电光探针组成；外圆筒底端为“倒置的正四棱台状”漏斗，内圆筒的底端为“倒置的圆台状”漏斗；电光探针的针头为尖顶或平顶结构，由半球型电光固浸透镜沿半径或平行于半径方向切割而成，其尖顶或平顶的中心为半球型电光固浸透镜的球心；外圆筒、内圆筒、显微物镜和电光探针均轴对称，且它们的对称轴重合在一起；通过螺纹控制显微物镜相对于电光探针的距离，使用时显微物镜的焦点位于电光探针的尖顶或平顶的中心，该电光固浸探头可以使电光检测系统的空间分辨率可以提高n倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电光 探头 | ||
【主权项】：
一种电光固浸探头，其特征在于：电光固浸探头由外圆筒、内圆筒、显微物镜和电光探针组成；外圆筒与内圆筒之间、内圆筒与显微物镜之间通过螺纹套合连接；外圆筒底端为“倒置的正四棱台状”漏斗，内圆筒的底端为“倒置的圆台状”漏斗，其下表面圆形开口的直径略小于电光探针的上表面直径；电光探针的针头为尖顶或平顶结构，由半球型电光固浸透镜沿半径或与半径平行的方向切割成“倒置的正四棱锥或正四棱台状”，其尖顶或平顶的中心为半球型电光固浸透镜的球心；电光探针由内圆筒压紧嵌在外圆筒底端的漏斗中，其尖顶或平顶部分由外圆筒的底端漏斗中伸出；外圆筒、内圆筒、显微物镜和电光探针均轴对称，且它们的对称轴重合在一起；通过螺纹控制显微物镜相对于电光探针的距离，使用时显微物镜的焦点位于电光探针的尖顶或平顶的中心。
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