[发明专利]一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法

摘要

本发明公开了一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法，硅片切割废砂浆先添加降黏剂，进行固液分离得到一级悬浮液和一级固体颗粒，一级固体颗粒再添加降黏剂进行二级固液分离，进一步除去固体颗粒中的切割液成分，得到二级固体颗粒，二级固体颗粒加水然后依次进行超声清洗、旋流分离，旋流分离得到硅粉悬浮液和碳化硅悬浮液，碳化硅悬浮液依次进行离心分离、碱反应清洗、离心分离、离心水洗、干燥和干法分级，最后得到可循环使用的碳化硅产品。旋流分离得到硅粉悬浮液经过板框过滤得到硅粉固体颗粒和水，水返回二级固体颗粒使用。二级固液分离得到的悬浮液返回到一级固液分离作为降黏剂使用。

主权项

一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法，其特征在于：步骤1，将主要成分是碳化硅、聚乙二醇和硅粉的废砂浆和降黏剂按照质量分数比3：10～4：10进行搅拌，制得悬浮液，然后进行固液分离得到一级悬浮液和一级固体颗粒；所述一级悬浮液的主要成分为聚乙二醇、硅粉、降粘剂，一级固体颗粒的主要成分为碳化硅、硅粉和聚乙二醇；步骤2，将步骤1得到的一级固体颗粒加入降黏剂，降黏剂和一级固体颗粒按照质量分数比2：1～3：1进行搅拌，制得悬浮液，然后进行固液分离得到二级悬浮液和二级固体颗粒，二级悬浮液返回步骤1利用；所述二级悬浮液的主要成分为降粘剂、聚乙二醇，二级固体颗粒的主要成分为碳化硅、硅粉；步骤3，经过步骤1和步骤2的固液分离后，废砂浆中60%的直径小于或等于3微米的硅粉、铁微粉被分离到悬浮液中；此时，将步骤2得到的二级固体颗粒加水搅拌制得悬浮液，然后进入超声波清洗机清洗，彻底将裹附在碳化硅表面的硅粉分离；步骤4，步骤3中经过超声波清洗后的悬浮液被进行旋流分离，得到硅粉悬浮液和碳化硅悬浮液，85%的硅粉进入悬浮液，碳化硅悬浮液中还有15%的硅粉；步骤5，将步骤4得到硅粉悬浮液通过板框压滤、压缩空气吹洗，得到含水量为3～5%的硅粉滤饼，作为产品出售；步骤6，将步骤4得到的碳化硅悬浮液通过磁槽除铁；步骤7，将步骤6除铁后的悬浮液进行离心分离、离心水洗、离心分离，进一步除去包括有碳化硅、硅粉的固体颗粒中的硅粉，然后得到硅粉含量为千分之三的固体颗粒；步骤8，在步骤7得到的固体颗粒加入氢氧化钠进行碱洗，氢氧化钠与固体颗粒的质量分数为1：10；步骤9，经步骤8碱洗后的悬浮液在滤网式离心分离机中进行固液分离，先分离碱性液体，再加水进行离心水洗，直到PH值为6.5时停止加水继续分离，得到固体颗粒；所述悬浮液主要成分为碳化硅、偏硅酸钠，所述固体颗粒的主要成分为碳化硅；步骤10，将步骤9得到的固体颗粒依次进行烘干、分级，最后得到可循环利用的碳化硅。