[发明专利]探针卡的定位机构及检查装置无效
| 申请号： | 201110445577.X | 申请日： | 2011-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102654522A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 山田浩史 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供探针卡的定位机构及检查装置。其能够将探针卡不会相对于检查装置的镶嵌垫环或者头板错位就准确地安装在规定的位置，特别是即使在反复使用探针卡的情况下，也只要仅进行一次探针对准，就能够省略之后的探针对准。本发明的定位机构(19)包括在周向上彼此隔开规定间隔地设置在探针卡(12)的外周缘部的3处定位用的销(19A)、与这些销相对应地在周向上彼此隔开规定间隔地设置在镶嵌垫环(15)的内周缘部(15A)的定位用的长孔(19B)，定位用的长孔(19B)形成为朝向与探针卡(12)的径向实质上一致的长孔，而且，长孔(19B)的整个内周面形成为朝向销(19A)的插入方向逐渐缩小的锥形面(19B1)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 定位 机构 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡的定位机构，其在将用于对被检查体进行电特性检查的探针卡相对于检查装置的头板或者固定于上述头板的镶嵌垫环能够装卸地安装于该头板或者该镶嵌垫环时，将在周向上彼此隔开规定间隔地设置在上述探针卡的外周缘部的至少3处定位用的销分别插入到与上述至少3处销相对应地设置在上述头板中或者上述镶嵌垫环中的至少3处定位用的孔中，将上述探针卡相对于上述头板或者上述镶嵌垫环定位在上述头板或者上述镶嵌垫环的规定的位置，其特征在于，上述定位用的孔形成为朝向与上述探针卡的径向实质上一致的长孔，而且，上述长孔的整个内周面形成为朝向上述销的插入方向逐渐缩小的锥形面。
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