[发明专利]一种长寿命的微流红外SO2传感器

摘要

本发明涉及一种长寿命的微流红外SO2传感器，包括红外光源系统、采样气室、窄带滤光片、微流红外SO2探测器，所述的微流红外SO2探测器包括微流量探测器、三个窗口及气室，三个窗口将气室分隔成前气室、后气室及补偿气室，微流量探测器位于连通前气室、后气室的通道上，前气室与补偿气室间有连通道，前气室、后气室、补偿气室中均填充具有SO2特征吸收光谱线特点的非SO2气体。本发明采用价格低廉的通用MEMS微流量探测器芯片，用CH4、C2H2、iC4、nC4气体中的一种或多种的混合气代替SO2作为填充气，解决了以往微流红外SO2探测器中的填充SO2会腐蚀微流量探测器而降低传感器使用寿命的问题，在满足微流红外SO2传感器测量精度的基础上，将传感器使用寿命提高了几十倍以上。

主权项

一种长寿命的微流红外SO2传感器，包括红外光源系统、采样气室、窄带滤光片、微流红外SO2探测器，所述的微流红外SO2探测器包括微流量探测器、三个窗口及气室，三个窗口将气室分隔成前气室、后气室及补偿气室，微流量探测器位于连通前气室、后气室的通道上，前气室与补偿气室间有连通道，其特征在于前气室、后气室、补偿气室中均填充具有SO2特征吸收光谱线特点的非SO2气体。