[发明专利]管形溅镀靶材检测机构

摘要

本发明是关于一种管形溅镀靶材检测机构，其主要是以一载具的基座上所设置的二防水套管相对夹持管形溅镀靶材，且能够自防水套管上的注液口对管形溅镀靶材的内衬管内部注入耦合液，使耦合液于内衬管内部的下段达预定液位高度，基座上设有靶材旋转驱动装置，用以驱动管形溅镀靶材旋转，并设有一由检测车驱动装置驱动的检测车自防水套管内部与管形溅镀靶材的内衬管内部之间来回移动，检测车底部的超声波检测器可伸入内衬管内部下段的耦合液中对管形溅镀靶材进行超声波检测，藉此，避免管形溅镀靶材设于内衬管外周面的靶材于检测过程中与水接触而导致氧化的问题，使其可适用于无法浸水的靶材。

主权项

一种管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，其包含：一载具，其包含一基座以及二具有开口端的防水套管，二所述防水套管是以其开口端相对的设置于基座上，用以相对夹持管形溅镀靶材的内衬管，二所述防水套管中的至少一防水套管设有一注液口与一排液口，所述注液口高于排液口，使耦合液能够经由所述注液口注入该管形溅镀靶材的内衬管内部的下段达预定液位高度，于超声波检测后，耦合液自所述排液口排出；一靶材旋转驱动装置，设置于基座上，用以驱动被夹持定位于二所述防水套管之间的管形溅镀靶材旋转，所述靶材旋转驱动装置包含一支以上的驱动轴以及一带动所述驱动轴旋转的驱动组件，以所述驱动轴抵接管形溅镀靶材；一检测车，其包含一车体、多个枢设于车体上的车轮以及一装设于车体底部的超声波检测器，所述检测车能够被驱动自所述防水套管内部与管形溅镀靶材的内衬管内部之间来回移动，所述超声波检测器并能伸入管形溅镀靶材的内衬管内部下段的耦合液中；以及一检测车驱动装置，设于基座上，用以驱动所述检测车于防水套管内部与管形溅镀靶材内部之间移动。