[发明专利]基于PMNT压电单晶的MEMS宽频振动能量采集器及制备方法无效
| 申请号： | 201110446634.6 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102544349A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;唐刚;杨斌;杨春生;杉山进 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/22;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于PMNT压电单晶的MEMS宽频振动能量采集器，是一种将弯曲振动机械能转换为电能的压电器件，包括：硅固定基座、支撑层、PMNT压电薄膜层和质量块，其中，硅固定基座、支撑层、PMNT压电薄膜层依次贴合形成多层结构，所述多层结构的一端悬空，所述质量块固定在所述多层结构的自由端上。本发明采用压电性能较好的PMNT单晶作为压电材料，并用键合和减薄方法制备高性能的PMNT压电薄膜，能够有效地提高器件的输出特性，从而提高转换效率；同时，采用固定在悬臂梁端部的装满液体的微容器，可实时有效地改变器件在振动环境下的固有频率，使其更有效地匹配环境的振动频率，从而使器件在较宽频率范围的振动环境中获得稳定的输出。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 pmnt 压电 mems 宽频 振动 能量 采集 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于PMNT压电单晶的MEMS宽频振动能量采集器，其特征在于，包括：硅固定基座、支撑层、PMNT压电薄膜层和质量块，其中，所述硅固定基座、支撑层、PMNT压电薄膜层依次贴合形成多层结构，所述多层结构的一端悬空，所述的质量块固定在所述多层结构的自由端上。
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