[发明专利]基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法

摘要

基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法，涉及一种双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法。它是为了解决现有的双频激光干涉仪直线度的探测灵敏度较低的问题。双频激光经λ/4波片透射再经分束镜分束为两束双频入射光，其中一束经全反镜和减偏器透射后获得双频参考光并入射至光电探测器的探测面上；另一束入射经渥拉斯顿棱镜分束为线偏振光和线偏振光，并分别入射至带有慢光材料双面反射镜中的两个反射镜，原路反射后经渥拉斯顿棱镜合并获得双频反射光，再经分束镜、全反镜、减偏器透射后入射至光电探测器的探测面，并在与双频参考光会聚并产生拍频，光电探测器探测所述拍频。本发明适用于电磁感应透明技术和光谱烧孔技术。

主权项

基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置，它包括λ/4波片(1)、分束镜(2)、渥拉斯顿棱镜(3)、双面反射镜(4)、全反镜(5)、减偏器(6)和光电探测器(7)，其特征是：它还包括三角形慢光材料(10)，所述三角形慢光材料(10)将双面反射镜(4)中两个反射镜围成的区域完全填充，形成带有慢光材料双面反射镜；双频激光干涉仪发出的双频激光入射至λ/4波片(1)，经λ/4波片(1)透射后获得双频线偏振光，所述双频线偏振光经分束镜(2)分束为一号双频入射光和二号双频入射光，所述二号双频入射光射至全反镜(5)，经全反镜(5)反射后入射至减偏器(6)；一号双频入射光入射至渥拉斯顿棱镜(3)，经渥拉斯顿棱镜(3)分束为线偏振光v1和线偏振光v2，所述线偏振光v1和线偏振光v2之间的夹角为θ，线偏振光v1和线偏振光v2分别入射至带有慢光材料双面反射镜中的两个反射镜，经带有慢光材料双面反射镜中的两个反射镜反射后获得与线偏振光v1入射方向相反一号反射光和与线偏振光v2入射方向相反二号反射光，所述一号反射光与二号反射光入射至渥拉斯顿棱镜(3)，经渥拉斯顿棱镜(3)合并获得双频反射光，所述双频反射光经分束镜(2)的反射面反射后入射至全反镜(5)，经全反镜(5)反射至减偏器(6)，并在减偏器(6)处与双频参考光会聚并产生拍频的会聚光，所述拍频的会聚光经减偏器(6)透射后入射至光电探测器(7)的探测面上。