[发明专利]一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置无效
| 申请号： | 201110449493.3 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102565459A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张海涛;裴舒;马冬梅;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于光学技术领域，特别涉及一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置，该装置包括光源、第一聚光镜组、第一可变光阑、第二可变光阑、第二聚光镜组和光路转折镜；光源，第一聚焦镜组，第一可变光阑，第二可变光阑和第二聚焦镜组共轴放置且光轴水平，转折镜与光轴成45度夹角；第一聚光镜位于光源之后，第一可变光阑位于第一聚光镜组之后，靠近第一聚光镜组的后表面，第二可变光阑位于第一聚光镜组对光源成像的位置，第二聚光镜组位于第二可变光阑之后，转折镜位于第二聚光镜组之后。本发明克服了现有原子力显微镜上光学显微镜观察系统反射照明条件下检测不透明样品上透明微孔时的不足，实现快速的找到微孔位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 原子 显微镜 检测 微孔 形状 透射 照明 装置 | ||
【主权项】：
一种原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置，其特征在于，该装置包括光源(2)、第一聚光镜组(3)、第一可变光阑(4)、第二可变光阑(5)、第二聚光镜组(6)和光路转折镜(7)；所述光源(2)、第一聚光镜组(3)、第一可变光阑(4)、第二可变光阑(5)和第二聚光镜组(6)共轴放置且与光轴平行，所述光路转折镜(7)与光轴成45度夹角；所述第一聚光镜组(3)位于光源(2)之后，所述第一可变光阑(4)位于第一聚光镜组(3)之后且靠近第一聚光镜组(3)的后表面，所述第二可变光阑(5)位于第一聚光镜组(3)对光源(2)成像的位置，所述第二聚光镜组(6)位于第二可变光阑(5)之后，所述转折镜(7)位于第二聚光镜组(6)之后。
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