[发明专利]溶胶-凝胶制备钽酸钠薄膜的方法

摘要

本发明提供了一种溶胶-凝胶制备钽酸钠薄膜的方法，该方法包括以下步骤：步骤一：取五氯化钽(TaCl5)和柠檬酸加无水乙醇配制成溶液A，取乙酸钠(CH3COONa)加水配制成溶液B；步骤二：充分搅拌使TaCl5、CH3COONa溶解后，将A、B混合形成NaTaO3的前驱液C；步骤三：将切割好的玻璃基片分别超声波清洗，吹干，紫外光照射仪中照射；步骤四：将处理好的玻璃基片置于配置好的NaTaO3前驱液中，采用提拉法制备薄膜，将薄膜干燥；步骤四：在高温下预处理，保温，即得到NaTaO3薄膜。该方法结合溶胶-凝胶法和提拉法制备纯相的NaTaO3薄膜，且薄膜表面呈蜂窝状，与基地结合牢固。

主权项

一种溶胶‑凝胶制备钽酸钠薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：取TaCl5、柠檬酸加无水乙醇配制成溶液A，其中TaCl5浓度为0.057mol/L，柠檬酸浓度为0.286mol/L；取乙酸钠加水配制成溶液B，乙酸钠浓度为0.4‑1.6mol/L；步骤2：对步骤1所得到的溶液A和溶液B进行磁力搅拌，使TaCl5、乙酸钠、柠檬酸完全溶解，然后将溶液A、B按体积比7∶1混合，形成NaTaO3前驱液C；步骤3：选用玻璃基片为基底，将切割好的玻璃基片清洗干净后吹干，然后将洁净的玻璃基片置于紫外光照射仪中照射；步骤4：将经步骤3处理过的玻璃基片竖直置于配置好的前驱液C中，采用提拉法制备薄膜，提拉速度为3cm/min，提拉过程结束后，将样品薄膜置于60℃下干燥；步骤5：将步骤4干燥后的薄膜置于热处理炉中以3℃/min的速率升温，在300℃下保温30min，在550‑650℃下保温1h，即得到NaTaO3薄膜。