[发明专利]一种纳米热压印装置无效
| 申请号： | 201110450091.5 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102436141A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 史晓华;冀然;陈沁;薛愉峰 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种纳米热压印装置，包括模具（16）、毛坯（15）、加热盘（14）、底座（9）、腔体（3），腔体（3）与底座（9）活动密封形成密闭空间，模具（16）、毛坯（15）和加热盘（14）封闭在该密闭空间内，所述腔体（3）内还设置有膜（6），该膜（6）在所述腔体（3）与底座（9）的密封接触面处被固定，将腔体与底座构成的密闭空间分成压力腔（12）和真空腔（11），压力腔（12）与进气道（5）相通，真空腔（11）与排气道（10）相通。本发明能使纳米压印模仁平衡、均匀、与表面垂直地压入压印基板，产品质量稳定，结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米热压印装置，包括模具（16）、毛坯（15）、加热盘（14）、底座（9）、腔体（3），加热盘（14）放置在底座（9）上，毛坯（15）放置在加热盘（14）上，模具（16）放置在毛坯（15）上，腔体（3）与底座（9）活动密封形成密闭空间，模具（16）、毛坯（15）和加热盘（14）封闭在该密闭空间内，其特征在于：所述腔体（3）内还设置有膜（6），该膜（6）在所述腔体（3）与底座（9）的密封接触面处被固定，将腔体与底座构成的密闭空间分成压力腔（12）和真空腔（11），压力腔（12）与进气道（5）相通，真空腔（11）与排气道（10）相通。
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