[发明专利]干涉式高密度圆光栅偏心检测装置

摘要

干涉式高密度圆光栅偏心检测装置涉及精密仪器检测领域，该检测装置包括一号激光器(1)、一号准直镜(2)、副光栅盘(4)、一号光电接收器(5)、二号光电接收器(6)、二号准直镜(7)、二号激光器(8)、主轴(9)、轴套(10)、光栅连接座(11)和示波器。利用光栅盘使单束光线发生两次衍射后再发生干涉，光电接收器接收干涉条纹信号后可以在示波器中得到正弦信号，根据不同相位正弦信号的合成，即可检测出主光栅盘偏心位置及偏心量。本发明可以检测密度高于125线对/mm的计量光栅盘，使编码器光机结构的机械装调方便，使光栅计量系统体积减小，结构简单化。

主权项

干涉式高密度圆光栅偏心检测装置，其特征在于，该检测装置包括一号激光器(1)、一号准直镜(2)、副光栅盘(4)、一号光电接收器(5)、二号光电接收器(6)、二号准直镜(7)、二号激光器(8)、主轴(9)、轴套(10)、光栅连接座(11)和示波器；待检测的主光栅盘(3)固定在主轴(9)的平台上，副光栅盘(4)固定在光栅连接座(11)上；光栅连接座(11)固定在轴套(10)上，光栅连接座(11)与轴套(10)同轴；轴套(10)与主轴(9)同轴，通过轴承动连接；副光栅盘(4)与主轴(9)通过光栅连接座(11)和轴套(10)实现同轴；一号激光器(1)与二号激光器(8)、以及一号准直镜(2)与二号准直镜(7)分别对径安装于主光栅盘(3)下面的轴套位置，并呈轴心对称；一号光电接收器(5)和二号光电接收器(6)分别置于副光栅盘(4)的上方；示波器分别与一号光电接收器(5)和二号光电接收器(6)连接；一号激光器(1)发出的激光经过一号准直镜(2)后变为平行光，垂直入射到主光栅盘(3)中，经过主光栅盘(3)的一次衍射和副光栅盘(4)的二次衍射后，产生干涉条纹，干涉条纹经过一号光电接收器(5)转换为电信号后，由示波器接收，得到主光栅盘(3)的位移正弦信号；二号激光器(8)发出的激光经过二号准直镜(7)后变为平行光，垂直入射到主光栅盘(3)中，经过主光栅盘(3)的一次衍射和副光栅盘(4)的二次衍射后，产生干涉条纹，干涉条纹经过二号光电接收器(6)转换为电信号后，由示波器接收，得到主光栅盘(3)的位移正弦信号；根据示波器中不同相位正弦信号的合成，能够得出主光栅盘(3)的偏心位置和偏心量。