[发明专利]用于测量大规模阵列器件统计涨落的电路有效
| 申请号： | 201110452057.1 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103185842A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 杜刚;杨云祥;刘晓彦;康晋锋;蔡帅 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测量大规模阵列器件统计涨落的电路，涉及微电子半导体技术领域，所述电路包括：待测器件阵列、用于选择所述待测器件阵列中每个待测单元的选中逻辑模块、以及电学参数测量模块，所述电学参数测量模块，用于测量所述待测器件阵列中所有待测单元分别在不同漏极电压和栅极电压下的直流电学特性。本发明通过设置电学参数测量模块，实现了在不大幅增加电路的复杂度的前提下，一次选中一个器件进行测量，以提高统计涨落的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 大规模 阵列 器件 统计 涨落 电路 | ||
【主权项】：
一种用于测量大规模阵列器件统计涨落的电路，其特征在于，所述电路包括：待测器件阵列、用于选择所述待测器件阵列中每个待测单元的选中逻辑模块、以及电学参数测量模块，所述电学参数测量模块，用于测量所述待测器件阵列中所有待测单元分别在不同漏极电压和栅极电压下的直流电学特性。
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