[发明专利]一种磷化镓单晶拉制过程中再熔接的方法有效
| 申请号： | 201110452389.X | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103184511A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 马英俊;林泉;张洁 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/44 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种磷化镓单晶拉制过程中再熔接的方法，它包括以下步骤：1).当碰舟或粘舟情况发生后立即停止晶升、埚升；2).用0.5～5℃/min的速率升温，观察微分重量和浮舟转速变化情况；3).当微分重量显示小于1.2～2.0g/min，停止升温；4).当浮舟转速稳定在3.0～5.0秒/转时，将晶体向下回插1～5mm，然后稳料30分钟；5).稳料后，将晶体提拉速度逐渐增加为3～15mm/hr开始提拉，同时将埚升增加至0.3～1.5mm/hr继续拉晶，晶体再熔接过程结束。本发明的优点是：采用本方法操作简单，可有效减少碰舟或粘舟导致单晶变为多晶的几率，从而提高磷化镓单晶成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 镓单晶 拉制 过程 熔接 方法 | ||
【主权项】：
一种磷化镓单晶拉制过程中再熔接的方法，其特征在于：它包括以下步骤：1).当碰舟或粘舟情况发生后立即停止晶升、埚升；2).用0.5～5℃/min的速率升温，观察微分重量和浮舟转速变化情况；3).当微分重量显示小于1.2～2.0g/min，停止升温；4).当浮舟转速稳定在3.0～5.0秒/转时，将晶体向下回插1～5mm，然后稳料30分钟；5).稳料后，将晶体提拉速度逐渐增加为3～15mm/hr开始提拉，同时将埚升增加至0.3～1.5mm/hr继续拉晶，晶体再熔接过程结束。
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