[发明专利]一种片库腔体充氮装置无效
| 申请号： | 201110452429.0 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103187230A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种片库腔体的充氮装置，其包括：小法兰2、光滑放气板3、粗糙放气板4、三个连接螺柱5、大法兰6、O型圈7，其特征在于光滑放气板3与大法兰6通过连接螺柱5连接，粗糙放气板4固定在小法兰2上，中间设置有O型圈7，小法兰2和大法兰6连接，大法兰6通过挂钩螺钉固定在片库上。本发明能够使氮气在充入靶室片库腔体的过程中，不对晶片正面方向，而从晶片四周缓慢地流入，过滤工业氮气中颗粒比较大的微粒，避免了晶片在充氮的过程中低能粒子污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 片库腔体充氮 装置 | ||
【主权项】：
一种片库腔体充氮装置，包括：小法兰(2)、光滑放气板(3)、粗糙放气板(4)、三个连接螺柱(5)、大法兰(6)、O型圈(7)，其特征在于：所述的光滑放气板(3)与大法兰(6)通过连接螺柱(5)连接；所述的粗糙放气板(4)固定在小法兰(2)上，中间设置有O型圈；所述的小法兰(2)和大法兰(6)连接；所述的大法兰(6)固定在片库上。
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