[发明专利]喷淋头无效
申请号: | 201110453585.9 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN102522306A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 贺小明;倪图强;彭帆;徐朝阳 | 申请(专利权)人: | 中微半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01J37/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种喷淋头,包括:喷淋头基体;所述喷淋头基体上覆盖有硅或碳化硅层;其中,所述硅或碳化硅层表面覆盖有氧化钇层。采用本发明提供的喷淋头,其抗刻蚀能力强,寿命长。 | ||
搜索关键词: | 喷淋 | ||
【主权项】:
一种喷淋头,包括:喷淋头基体;所述喷淋头基体上覆盖有硅或碳化硅层;其特征在于,所述硅或碳化硅层表面覆盖有氧化钇层。
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