[发明专利]多晶硅铸锭炉的上炉体无效
申请号: | 201110455176.2 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN103184515A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 汤仁兴 | 申请(专利权)人: | 汤仁兴 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;曾丹 |
地址: | 214434 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种多晶硅铸锭炉的上炉体,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种多晶硅铸锭炉的上炉体,其特征在于:它包括上炉体本体(1),所述上炉体本体(1)的顶部垂直固定有三个隔热笼提升机构(2),所述上炉体本体(1)的顶部还设有若干热电偶(3),所述热电偶(3)的一端穿过上炉体本体(1)并伸入上炉体本体(1)的内部,所述炉盖本体(1)上还开有观察窗(4)。这种多晶硅铸锭炉的上炉体在上炉体本体的顶部开设了一个通孔,并在通孔内装上了钢化玻璃作为观察窗,操作人员可以通过钢化玻璃看到炉体内多晶硅的生产情况,从而做出相应操作,方便了员工操作。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 上炉体 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉的上炉体,其特征在于:它包括上炉体本体(1),所述上炉体本体(1)的顶部垂直固定有三个隔热笼提升机构(2),所述上炉体本体(1)的顶部还设有若干热电偶(3),所述热电偶(3)的一端穿过上炉体本体(1)并伸入上炉体本体(1)的内部,所述炉盖本体(1)上还开有观察窗(4)。
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