[发明专利]带观察窗的单晶炉上炉盖无效
| 申请号： | 201110455232.2 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184503A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 汤仁兴 | 申请（专利权）人： | 汤仁兴 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带观察窗的单晶炉上炉盖，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种带观察窗的单晶炉上炉盖，其特征在于：它包括炉盖本体（1），所述炉盖本体（1）中间开口设有隔离阀（2），所述炉盖本体（1）在隔离阀（2）的两侧开有进水口（3）和出水口（4），所述炉盖本体（1）上还开有观察窗（5）。这种带观察窗的单晶炉上炉盖在盖体上开设了一个通孔，并在通孔内装上了钢化玻璃作为观察窗，操作人员可以通过玻璃看到上炉体内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应操作，方便了员工操作。 | ||
| 搜索关键词： | 观察窗 单晶炉上炉盖 | ||
【主权项】：
一种带观察窗的单晶炉上炉盖，其特征在于：它包括炉盖本体（1），所述炉盖本体（1）中间开口设有隔离阀（2），所述炉盖本体（1）在隔离阀（2）的两侧开有进水口（3）和出水口（4），所述炉盖本体（1）上还开有观察窗（5）。
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