[发明专利]直拉式单晶炉的副炉无效
| 申请号： | 201110455233.7 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184504A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 汤仁兴 | 申请（专利权）人： | 汤仁兴 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及直拉式单晶炉的副炉，属于单晶硅的生产制造设备领域。一种直拉式单晶炉的副炉，其特征在于：它包括副炉本体（1），所述副炉本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（5）和下法兰（6），外壁（3）上开设有镁棒接口（7），所述镁棒接口（7）与水夹层（4）相连通。这种直拉式单晶炉的副炉在外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口与内壁与外壁之间的水夹层相连通，镁棒接口中插入镁棒后，将代替内壁和外壁上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉式单晶炉 | ||
【主权项】：
一种直拉式单晶炉的副炉，其特征在于：它包括副炉本体（1），所述副炉本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（5）和下法兰（6），外壁（3）上开设有镁棒接口（7），所述镁棒接口（7）与水夹层（4）相连通。
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