[发明专利]单晶炉的热屏无效
| 申请号： | 201110455273.1 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184509A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 汤仁兴 | 申请（专利权）人： | 汤仁兴 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶炉的热屏，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种单晶炉的热屏，其特征在于：它内热屏层（1）和外热屏层（2），所述内热屏层（1）和外热屏层（2）之间设有保温层（3）。所述保温层（3）为软毡。这种单晶炉的热屏在内热屏层和外热屏层之间增设了保温层，该保温层的材料为软毡，其导热系数小，隔热性能好，使得内热屏层的温度不易传到外热屏层上，从而提高了热屏的保温性能，保证了单晶硅的正常生产。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种单晶炉的热屏，其特征在于：它内热屏层（1）和外热屏层（2），所述内热屏层（1）和外热屏层（2）之间设有保温层（3）。
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