[发明专利]单晶炉的石英坩埚无效
| 申请号： | 201110455597.5 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184517A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 汤仁兴 | 申请（专利权）人： | 汤仁兴 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/10 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种单晶炉的石英坩埚，属于单晶硅生产设备技术领域。一种单晶炉的石英坩埚，其特征在于：它包括坩埚本体（1），所述坩埚本体（1）内壁上涂覆有氮化硅层（2）。本发明单晶炉的石英坩埚，坩埚本体内壁上涂覆有氮化硅层，能够有效防止硅液结晶过程中受到污染，同时也使得石英坩埚的内壁不易受到腐蚀，提高了石英坩埚的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 石英 坩埚 | ||
【主权项】：
一种单晶炉的石英坩埚，其特征在于：它包括坩埚本体（1），所述坩埚本体（1）内壁上涂覆有氮化硅层（2）。
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