[发明专利]用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备有效
| 申请号： | 201110456125.1 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102539390A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 朴敬旭;权润瑛;崔宰荣;李钟声;李会官;曹瑞英;尹敬敏 | 申请（专利权）人： | 三星康宁精密素材株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 于未茗;宋志强 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备。光束辐射器发射激光束。准直透镜对从激光束辐射器发射来的激光束进行准直。光束扩展器对经准直透镜准直的激光束的大小进行扩展。探测器具有光接收部分，该光接收部分接收经光束扩展器扩展之后穿过图案化的玻璃基板的激光束。测量部分利用探测器接收的激光束来测量图案化的玻璃基板的透射率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 图案 玻璃 透射率 设备 | ||
【主权项】：
一种用于测量图案化的玻璃基板的透射率的设备，包括：发射激光束的光束辐射器；对从激光束辐射器发射来的激光束进行准直的准直透镜；对经所述准直透镜准直的激光束的大小进行扩展的光束扩展器；具有光接收部分的探测器，接收经所述光束扩展器扩展之后穿过所述图案化的玻璃基板的激光束；以及利用所述探测器接收的激光束对所述图案化的玻璃基板的透射率进行测量的测量部分。
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