[发明专利]具有线性驱动/拾取的MEMS垂直梳状结构有效
| 申请号： | 201110456815.7 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102564469A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | R·D·霍尔宁;R·苏皮诺 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;朱海煜 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及具有线性驱动/拾取的MEMS垂直梳状结构。一种MEMS传感器，包括基板和具有第一多个梳状物的至少一个检验质量块。该检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到基板以使得检验质量块和第一多个梳状物能移动。该MEMS传感器还包括具有第二多个梳状物的至少一个锚。该锚耦合到基板以使锚和第二多个梳状物相对于基板被固定在适当位置。第一多个梳状物与第二多个梳状物交错。每个梳状物都包括通过一个或多个非导电层彼此电隔离的多个导电层。每个导电层都单独耦合到各自电势以使得梳状物之间的电容随着能移动梳状物在面外方向上的位移近似线性变化。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 线性 驱动 拾取 mems 垂直 结构 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)传感器(100)，包括：基板；具有第一多个梳状物(104)的至少一个检验质量块(102)，其中检验质量块经由一个或多个悬挂梁耦合到基板以使检验质量块和第一多个梳状物是能移动的；具有第二多个梳状物(108)的至少一个锚(106)，其中，该锚耦合到基板以使该锚和第二多个梳状物相对于基板被固定在适当位置；其中第一多个梳状物与第二多个梳状物交错；其中第一多个梳状物和第二多个梳状物中的每一个梳状物都包括通过一个或多个非导电层(216)彼此电隔离的多个导电层(214)；其中每个导电层都单独耦合到各自电势以使得第一多个梳状物和第二多个梳状物之间的电容随着能移动梳状物在面外方向上的位移近似线性变化。
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